我國芯片制造“卡脖子”技術實現突破 即將實現產業應用

1評論 2019-04-16 06:49:51 來源:金融界網站 這只股有龍頭之相!

光刻機是集成電路生產制造過程中的關鍵設備秒速飞艇来必发彩票bf03秒速飞艇来必发彩票bf03,主流深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻機主要由荷蘭ASML公司壟斷生產,屬于國內集成電路制造業的“卡脖子”技術秒速飞艇来必发彩票bf03。

  據科技日報報道,武漢光電國家研究中心棕松團隊采用二束激光在自研的光刻膠上突破了光束衍射極限的限制秒速飞艇来必发彩票bf03,采用遠場光學的辦法,光刻出最小9納米線寬的線段,實現了從超分辨成像到超衍射極限光刻制造的重大創新秒速飞艇来必发彩票bf03。甘棕松團隊自主開發了多類光刻膠,實現了光刻樣機系統關鍵零部件國產化。

  光刻機是集成電路生產制造過程中的關鍵設備,主流深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻機主要由荷蘭ASML公司壟斷生產秒速飞艇来必发彩票bf03,屬于國內集成電路制造業的“卡脖子”技術。甘棕松團隊在沒有任何可借鑒的技術情況下,開拓了一條光制造新的路徑,打破了三維微納光制造的國外技術壟斷,在這個領域,從材料、軟件到光機電零部件,都將不再受制于人秒速飞艇来必发彩票bf03。在解決制造速度等關鍵問題后秒速飞艇来必发彩票bf03,該技術將有望應用于集成電路制造。

  A股公司中:

  蘇大維格(行情300331,診股):是國內領先的微納結構產品制造和技術服務商,微納光刻設備已達到國際先進水平,可為光子晶體秒速飞艇来必发彩票bf03、半導體功率芯片秒速飞艇来必发彩票bf03、MEMS等研發和制備提供前沿性和實用性納米光刻工具。

  勝利精密(行情002426,診股):在互動平臺表示,公司光刻機產業化項目建成后主要用于生產光刻機成套裝備,公司具備將業務延伸拓展至光刻機產線整體解決方案的技術實力。

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關鍵詞閱讀:芯片制造

責任編輯:周壯 RF12883
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